金融界2025年3月29日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板加工装置和方法”的专利，公开号CN 119694929 A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基板加工装置和方法，该基板加工装置包括：加工容器，该加工容器在其中具有加工空间；支承单元，该支承单元用于在加工空间内支承和旋转基板；以及喷嘴单元，该喷嘴单元用于将处理溶液供应到基板，其中，加工容器包括多个杯状件，该多个杯状件包围加工空间并且设置为使得通过其引入处理溶液的开口沿上下方向堆叠，多个杯状件中的每一者包括：侧壁；以及上壁，该上壁从侧壁朝向加工空间延伸，并且第一杯状件的上壁的内端比另一杯状件的上壁的内端更朝向加工空间突起，第一杯状件的上壁位于多个杯状件中的最上侧处。

本文源自：金融界

作者：情报员