金融界2025年3月29日消息,国家知识产权局信息显示,宁波芯丰精密科技有限公司申请一项名为“一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备”的专利,公开号CN 119694969 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明属于半导体加工技术领域,公开了一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备。该晶圆气浮转台的调节机构包括减速器、调节轴、连接杆和操作组件。减速器与外部结构固定连接,调节轴与减速器的输入端连接,连接杆的一端与减速器的输出端连接,另一端用于与气浮转台连接,且能够与调节轴一同转动。手动操作操作组件能够带动调节轴转动,以驱动连接杆相对气浮转台运动。该晶圆加工设备包括吸盘和用于承载所述吸盘的气浮转台,所述吸盘与所述气浮转台固定连接,使用上述的晶圆气浮转台的调节机构。本发明采用机械零件代替电机驱动,在达到使用需求的同时降低设备成本。
天眼查资料显示,宁波芯丰精密科技有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本5324.6745万人民币,实缴资本3343.3962万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波芯丰精密科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息70条。
本文源自:金融界
作者:情报员
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