金融界2025年3月31日消息,国家知识产权局信息显示,创微微电子(常州)有限公司取得一项名为“片篮托架、晶圆干燥设备和晶圆清洗设备”的专利,授权公告号 CN 222690654 U,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种片篮托架、晶圆干燥设备和晶圆清洗设备。所述片篮支架包括:两个第一限位底板,限制所述第一尺寸片篮向两侧移动;支撑底架,支撑所述第一尺寸片篮的底部;两个限位侧板,设置在所述第一限位底板的两端,两个第一限位底板之间设有与限位侧板平行的限制板,限制板与其中一限位侧板配合限制第一尺寸片篮向限位侧板移动,两个限位侧板限制第二尺寸片篮向所述限位侧板移动;多个限位角,分别设置在两个所述第一限位底板上,限制第二尺寸片篮向两侧移动。本实用新型提出的片篮托架可以兼容放置两种尺寸大小的片篮,解决了现有技术更换不同尺寸的片篮需要更换不同尺寸的片篮托架,容易造成清洗或烘干失效的问题。

天眼查资料显示,创微微电子(常州)有限公司,成立于2020年,位于常州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币,实缴资本3500万人民币。通过天眼查大数据分析,创微微电子(常州)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目22次,专利信息70条,此外企业还拥有行政许可7个。

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