金融界2025年4月2日消息,国家知识产权局信息显示,武汉锐晶激光芯片技术有限公司申请一项名为“一种半导体器件制造用晶圆片载体装置”的专利,公开号 CN 119742268 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体器件制造技术领域,提出了一种半导体器件制造用晶圆片载体装置,包括载架、载盖和晶圆片,所述载架上设有容纳槽;所述载盖可拆式固定在所述载架上;还包括复合盖和弹性密封圈,所述复合盖设置在所述载盖上,并与其围合形成调节腔,所述调节腔的容积可调;所述载架内设有通气孔,所述通气孔贯穿所述载架;所述弹性密封圈密封固定在所述通气孔内;所述晶圆片抵贴设置在所述弹性密封圈靠近所述载盖的一侧,并与所述载架间隔设置。本发明通过设置与容纳槽相连通的调节腔和通气孔,并让调节腔的容积可调,当载盖与载架相连接时,可以将晶圆片平稳且均匀地抵压在弹性密封圈上,从而提升了晶圆片的加工安全性。
天眼查资料显示,武汉锐晶激光芯片技术有限公司,成立于2015年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币,实缴资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉锐晶激光芯片技术有限公司参与招投标项目214次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息157条,此外企业还拥有行政许可9个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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