金融界2025年4月4日消息,国家知识产权局信息显示,华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆传输机械手、晶圆传输方法及装置”的专利,公开号 CN 119748319 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本申请实施例提供了一种晶圆传输机械手、晶圆传输方法及装置。晶圆传输机械手包括:基座;连接机构,设置于基座,连接机构设有对中参考基准;第一夹爪和第二夹爪,可相对于对中参考基准相对或相背地移动连接于连接机构;驱动机构,用于驱动第一夹爪和第二夹爪移动,以使第一夹爪和第二夹爪位于承接位、夹持位或者释放位;第一夹爪和第二夹爪位于夹持位时,晶圆的圆心到对中参考平面的距离小于第一预设值。本实施例的第一夹爪和第二夹爪在承接位时可接收带有位置偏差的晶圆,使前端机械手可与本实施例进行交互前端机械手可采用吸附的方式从晶圆盒装载晶圆,夹持的方式向晶圆盒中放置加工后的晶圆,避免了装卸晶圆的交叉污染。
天眼查资料显示,华海清科股份有限公司,成立于2013年,位于天津市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币,实缴资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目218次,财产线索方面有商标信息64条,专利信息657条,此外企业还拥有行政许可30个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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