金融界2025年4月4日消息，国家知识产权局信息显示，杜邦电子材料控股股份有限公司申请一项名为“化学机械抛光垫”的专利，公开号CN 119748316 A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，一种化学机械抛光垫，其包括抛光层，该抛光层包含基质聚合物和基于该抛光层的总重量1wt％至20wt％的分散在该基质聚合物中的非反应性的、不可膨胀的聚合物颗粒以及小于2wt％的可膨胀的聚合物微球。该抛光层的切割表面的SEM显示出新月形开口，该开口与这些聚合物颗粒的至少一部分相邻，并且将这些聚合物颗粒的该部分的表面与该基质聚合物分开。该抛光垫提供了优于多孔垫的改善的平坦化能力，其也可以更容易地切割和机械加工，以提供期望的宏观纹理和微观纹理。

本文源自：金融界

作者：情报员