金融界2025年4月5日消息，国家知识产权局信息显示，常州捷佳创精密机械有限公司申请一项名为“平衡工艺腔N/P面镀膜压强的方法及PVD设备”的专利，公开号CN 119753613 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提出了一种平衡工艺腔N/P面镀膜压强的方法及PVD设备，方法包括：料片进行镀膜过程中，控制P面工艺腔的各个分子泵以第一预设抽速运行；控制N面工艺腔中部分分子泵以第二预设抽速运行，第二预设抽速小于第一预设抽速，使N面工艺腔的压强与N面工艺腔压强相等。本发明通过将N面工艺腔的部分分子泵的抽速降低，来确保N面工艺腔与P面工艺腔之间的压强平衡，提高了镀膜工艺的稳定性和可靠性。相较于常规的采用提高N面气体流量并加长隔离腔的方法，未减少隔离腔长度并平衡N/P面压强，同时降低了N面的气体用量成本，有效减少设备的能耗和成本。

天眼查资料显示，常州捷佳创精密机械有限公司，成立于2008年，位于常州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50058.56万人民币，实缴资本50058.56万人民币。通过天眼查大数据分析，常州捷佳创精密机械有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目94次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息624条，此外企业还拥有行政许可29个。

本文源自：金融界

作者：情报员