金融界2025年4月7日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“一种电子束成像设备的消像散方法、产品及设备”的专利，公开号CN 119764148 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造与检测领域，特别是涉及一种电子束成像设备的消像散方法、产品及设备。该消像散方法包括：搜索电子束成像设备中消像散器的目标像散参数；按照设定步长对预调物镜电流进行逐步调节，并采集不同物镜电流对应的多张细聚焦图像；计算多张细聚焦图像在不同坐标轴方向上的梯度；根据梯度的一致性判断目标像散参数是否符合消像散要求；若是，根据梯度确定电子束成像设备的目标物镜电流。本发明的消像散方法在确定消像散器的目标像散参数之后执行对目标像散参数的评判操作，提高了消像散的准确性，避免了由于应用错误的消像散结果导致的量测准确性较低的问题从而提高了电子束成像设备的量测准确性。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币，实缴资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目24次，财产线索方面有商标信息148条，专利信息260条，此外企业还拥有行政许可18个。

本文源自：金融界

作者：情报员