金融界 2025 年 4 月 7 日消息，国家知识产权局信息显示，长春长光正圆微电子技术有限公司申请一项名为“改善 RTP 机台上晶圆长膜均匀性的方法”的专利，公开号 CN 119764218 A，申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示，本发明之改善 RTP 机台上晶圆长膜均匀性的方法，无论是对加热灯组中老化灯组进行调试还是对新更换的加热灯组进行调试都是可行的，对晶圆表面上长膜的厚度值及功率值进行采集，并利用采集的厚度值及功率值计算出晶圆表面每个测量点位的敏感度值，在利用敏感度值预测出需要调节的加热灯组的功率值组，进而对加热灯组进行调节。本发明的方法，在采集数据时所用的晶圆数量较少，且耗时较短，提高了工作效率；同时，通过输出的功率值组，调节加热灯组中老化灯组或者新更换灯组的功率增加或减少，使加热灯组的加热温度处于稳定的状态，保证加热灯组下的晶圆表面长膜的均匀性。

天眼查资料显示，长春长光正圆微电子技术有限公司，成立于2022年，位于长春市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本130000万人民币，实缴资本130000万人民币。通过天眼查大数据分析，长春长光正圆微电子技术有限公司财产线索方面有商标信息8条，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可5个。

本文源自：金融界

作者：情报员