金融界2025年4月7日消息,国家知识产权局信息显示,中电科风华信息装备股份有限公司申请一项名为“一种用于晶圆缺陷检测设备的自动安全防护系统及方法”的专利,公开号CN 119764202 A ,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆缺陷检测技术领域,具体为一种用于晶圆缺陷检测设备的自动安全防护系统及方法,主要包括硬件自动防护系统和软件监控及记录系统,硬件自动防护系统包括安全门状态监控模块安全门旁路模块紧急响应模块、真空状态监控模块、压缩空气状态监控模块、自动防护处理模块、运动控制模块、光源控制模块。本系统完全依靠硬件实现自动安全防护功能。自动防护过程无上位机软件或嵌入式软件介入,保证实时快速可靠的安全防护响应。自动防护触发后,操作人员确认安全风险已解除并且进行人工干预操作之前,自动防护系统保持触发状态不变。同时,通过旁路开关的控制满足经过专业培训设备维护人员在设备调试和维保过程中的特殊应用需求。
天眼查资料显示,中电科风华信息装备股份有限公司,成立于1998年,位于太原市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9736.4032万人民币,实缴资本9736.4032万人民币。通过天眼查大数据分析,中电科风华信息装备股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目262次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息281条,此外企业还拥有行政许可12个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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