金融界2025年4月7日消息,国家知识产权局信息显示,德州仪器公司申请一项名为“碳纳米管装置”的专利,公开号CN 119764173 A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本申请涉及碳纳米管装置。一种方法(100)包含:在集成电路的介电层上形成(106)第一材料的第一层;在所述第一层上形成(108)第二材料的第二层;以及图案化(110)所述第二层以暴露所述第一层。经由图案化的第二层,蚀刻(110)暴露的第一层以形成所述第一层和所述第二层的突起结构以及位于所述突起结构中的邻近的突起结构之间的凹槽。所述方法还包含在所述突起结构的所述第二层的至少一部分上形成(112)石墨碳层,以及将碳纳米管沉积(114)到所述突起结构中的所述邻近的突起结构之间的所述凹槽中。
本文源自:金融界
作者:情报员
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