金融界2025年4月7日消息,国家知识产权局信息显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请一项名为“具有晶圆举升自转机构的半导体处理装置及举升自转方法”的专利,公开号CN 119764246 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种具有晶圆举升自转机构的半导体处理装置及晶圆举升自转方法。该半导体处理装置包括晶圆举升自转机构,驱动晶圆进行举升以及旋转。所述晶圆举升自转机构包括自转组件、举升组件以及调平机构;所述举升组件具有升降机构、与所述升降机构连接的第一连接件、测量至所述第一连接件的距离的测距装置;所述自转组件具有旋转机构以及测量所述旋转机构旋转角度的旋转角度测量装置,所述旋转机构与所述第一连接件通过所述调平装置连接并调平。
天眼查资料显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司,成立于2023年,位于沈阳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50000万人民币,实缴资本36168.02万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息263条,此外企业还拥有行政许可10个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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