金融界2025年4月9日消息,国家知识产权局信息显示,北京晨晶电子有限公司申请一项名为“三层硅基加速度计及其制造方法”的专利,公开号CN 119780475 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种三层硅基加速度计的制造方法,包括第一至第四步骤,第一步骤包括:在第一衬底的固支层的表面形成二氧化硅键合层,并进行图案化、刻蚀处理,形成第一键合锚点,第二步骤包括:基于第一键合锚点,将第二衬底的功能层与第一衬底的二氧化硅键合层进行键合,形成双层结构,并进行减薄、图案化和刻蚀处理,获得双层加速度计梳齿结构,第三步骤包括:通过对第三衬底的表面进行刻蚀形成第二键合锚点,在第三衬底的表面进行图案化和金属沉积处理,得到表面图案化的电极层,第四步骤包括:基于第二键合锚点,将双层加速度计梳齿结构与表面图案化的电极层进行键合,得到三层结构其中第至第三衬底为硅片固支层与功能层为硅层。
天眼查资料显示,北京晨晶电子有限公司,成立于2000年,位于市辖区,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1700万人民币,实缴资本1700万人民币。通过天眼查大数据分析,北京晨晶电子有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目592次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息148条,此外企业还拥有行政许可72个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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