金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,厦门韫茂科技有限公司取得一项名为“35269.一种SIC外延自动传片设备”的专利,授权公告号CN222775289U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种SIC外延自动传片设备,涉及半导体加工设备技术领域。包括传片平台,所述传片平台上设置有上料装置、OCR识别装置、第一机械手、第二机械手、加载装置以及下料装置,其中,所述第二机械手适于在加载时将上料装置内的衬底抓取至所述OCR识别装置识别后放置到所述加载装置内,同时能在卸载时将加载装置内的外延片运送至所述下料装置内;所述第一机械手设置于反应腔周侧以在加载时将衬底从所述加载装置抓取至反应腔内,并能在卸载时将加工完毕的外延片从所述反应腔内运送回所述加载装置内。通过本实用新型方案可以使得传片实现自动化。
天眼查资料显示,厦门韫茂科技有限公司,成立于2018年,位于厦门市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本538.051265万人民币。通过天眼查大数据分析,厦门韫茂科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目91次,财产线索方面有商标信息13条,专利信息89条,此外企业还拥有行政许可12个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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