金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,南京百识电子科技有限公司申请一项名为“7694.一种碳化硅外延结构的制备方法”的专利,公开号CN119843361A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种碳化硅外延结构的制备方法。本发明提供了一种碳化硅外延结构的制备方法,包括以下步骤:将碳化硅衬底置于反应腔室中,向反应腔室中通入碳源、硅源和氢气,采用垂直气流方向外延生长方式,在所述碳化硅衬底的表面依次生长碳化硅缓冲层和碳化硅外延层,得到所述碳化硅外延结构;所述生长碳化硅外延层时,硅氢比为2.5‰~3‰。本发明通过调控外延层生长过程中的硅氢比,使得在外延层生长的过程中,减少不同台阶之间生长速度的差异、降低台阶重叠来改善表面的短台阶重叠聚集,进而降低表面粗糙度、提高碳化硅外延结构的质量。
天眼查资料显示,南京百识电子科技有限公司,成立于2019年,位于南京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本718.9529万人民币。通过天眼查大数据分析,南京百识电子科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息39条,此外企业还拥有行政许可16个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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