金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,新阳硅密(上海)半导体技术有限公司申请一项名为“一种盘式搅拌装置及电镀槽”的专利,公开号CN119843342A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,本发明提供了一种盘式搅拌装置及电镀槽,搅拌装置包括呈倒置盘形的搅拌板,搅拌板包括向上隆起的搅拌区及底盘,搅拌区包括占其面积35~45%的骨架结构,骨架结构包括相交的横向骨架和纵向骨架,横向骨架上设置有鳍式结构;搅拌区还包括中部和边部匀流口,中部匀流口开设于相邻的横向骨架及纵向骨架围合的区域内,边部匀流口连续开设于搅拌区上表面边部、搅拌区侧面、及底盘表面。通过安装本发明提供的装置,能够加快电镀液向沟槽中的扩散,减少晶圆中心及边缘的电镀液浓度差,消除相对于氢过电位的金属电镀下氢析出产生的气泡,从而加速沟槽中物质交换,促进铜离子的沉积,实现整片晶圆上各处电镀薄膜厚度均匀一致,沟槽内填充效率更接近的无缺陷填充。
天眼查资料显示,新阳硅密(上海)半导体技术有限公司,成立于1999年,位于上海市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本9748.444万人民币。通过天眼查大数据分析,新阳硅密(上海)半导体技术有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目17次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息124条,此外企业还拥有行政许可13个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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