英特尔公司申请具有改进的盖的自对准栅极端盖(SAGE)架构专利,提高集成电路结构性能
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金融界2025年4月22日消息,国家知识产权局信息显示,英特尔公司申请一项名为“具有改进的盖的自对准栅极端盖(SAGE)架构”的专利,公开号CN119855229A,申请日期为2022年11月。
专利摘要显示,描述了具有改进的盖的自对准栅极端盖(SAGE)架构、以及制造具有改进的盖的自对准栅极端盖(SAGE)架构的方法。在示例中,集成电路结构包括在第一半导体鳍状物之上的第一栅极结构。第二栅极结构在第二半导体鳍状物之上。栅极端盖隔离结构在第一栅极结构和第二栅极结构之间。栅极端盖隔离结构在较低k电介质壁上具有较高k电介质盖层。较高k电介质盖层包括铪和氧,并且具有70%或更大的单斜晶结晶度。
本文源自:金融界
作者:情报员
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