细美事申请晶圆结合装置和晶圆结合方法专利,可处理形状变形的晶圆
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金融界2025年4月22日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“晶圆结合装置和晶圆结合方法”的专利,公开号CN119852202A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明涉及一种可以处理形状变形的晶圆的晶圆结合装置和晶圆结合方法,晶圆结合装置可以包括:第一晶圆安装台,其上安装第一晶圆;第二晶圆安装台,其上与第一晶圆相对地安装第二晶圆;以及晶圆按压装置,设置在第一晶圆安装台和第二晶圆安装台中的一个上或者各设置在第一晶圆安装台和第二晶圆安装台中的每个上,在朝向第二晶圆的方向上按压第一晶圆或者在朝向第一晶圆的方向上按压第二晶圆,以便第一晶圆和第二晶圆结合。
本文源自:金融界
作者:情报员
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