金融界2025年4月22日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体制造方法、制造系统、设备及存储介质”的专利,公开号CN119852194A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,一种半导体制造方法、制造系统、设备及存储介质,用于对晶圆表面的目标层进行目标操作,目标操作用于实现特定的工艺处理,制造方法包括:对晶圆进行成像处理,得到目标层的图像作为待处理图;对待处理图进行分析,以根据图像参数获得目标层的当前尺寸,图像参数与目标层的当前尺寸相关;基于目标层的当前尺寸确定目标操作的目标参数;基于目标参数对目标层进行目标操作。通过进行成像处理,能够获得目标层全局的当前状态信息,信息更加丰富,从而能更精确地获得目标层的当前状态,则基于目标层的当前尺寸确定目标操作的目标参数后,目标参数的精确度也相应提高,这使得目标操作的均一性得以提升,进而提升半导体制造的成品率。
天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目117次,财产线索方面有商标信息147条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可443个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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