金融界2025年4月24日消息,国家知识产权局信息显示,爱思开海力士有限公司申请一项名为“半导体器件及其制造方法”的专利,公开号CN119812103A,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本公开涉及半导体器件及其制造方法。用于制造半导体器件的方法包括:形成第一半导体结构,其包括逻辑晶体管;形成第二半导体结构;将第一半导体结构键合到第二半导体结构,其中,形成第一半导体结构包括:形成第一衬底;在第一衬底上形成第一布线层,第一布线层包括多个第一金属布线和多个第一通孔;在第一布线层上形成第一键合隔离层,其中,形成第二半导体结构包括:形成第二衬底;在第二衬底上形成第二布线层,第二布线层包括多个第二金属布线和多个第二通孔;在第二布线层中形成多个虚设插塞;形成多个孔,其垂直穿过第二衬底至形成多个虚设插塞的部分,其中多个孔在将第一半导体结构键合到第二半导体结构之后形成;以及去除多个虚设插塞。
本文源自:金融界
作者:情报员
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