金融界2025年4月29日消息,国家知识产权局信息显示,青岛华芯晶电科技有限公司;同济大学申请一项名为“基于智能传感器的研磨液喷液监测系统及方法”的专利,公开号 CN119871204A,申请日期为 2025 年 3 月。
专利摘要显示,本发明涉及研磨液监测技术领域,尤其涉及基于智能传感器的研磨液喷液监测系统及方法,包括:基于研磨点特征数据和研磨液喷液设置数据,对工件表面的研磨液覆盖状态进行分析;基于研磨点特征数据和研磨设备的参数控制数据,对研磨设备与工件表面的接触异常状态进行分析;根据工件表面的研磨液覆盖状态分析结果和研磨设备与工件表面的接触异常状态分析结果,对工件表面研磨质量风险进行评估;根据工件表面研磨质量风险评估结果,对研磨液喷射装置进行优化预警,从而提高了工件的研磨效率,避免工件和研磨设备的过度加工损耗,减少了研磨液的过度消耗。
本文源自:金融界
作者:情报员
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