金融界2025年4月30日消息，国家知识产权局信息显示，君原电子科技（海宁）有限公司申请一项名为“一种用于静电卡盘的低孔隙率涂层及制备方法”的专利，公开号CN119876946A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于静电卡盘的低孔隙率涂层及制备方法，属于静电卡盘技术领域，所述低孔隙率涂层包括设置在金属基材上的第一涂层，以及设置在所述第一涂层上的第二涂层，所述第一涂层为通过热喷涂方法设置于金属基材上的无外观损伤的陶瓷层，所述第二涂层为通过原子层沉积方法设置于所述第一涂层上的低孔隙率陶瓷层.本申请通过原子层沉积能够在热喷涂涂层表面均匀地沉积形成致密的陶瓷涂层，大幅减少涂层表面凹坑及内部的孔隙和微裂纹；低孔隙率的陶瓷涂层的绝缘性能够显著提升，电荷泄露风险降低，静电卡盘的夹持力和稳定性提高，在真空环境和高电压条件下静电卡盘依然能够可靠工作。

天眼查资料显示，君原电子科技（海宁）有限公司，成立于2020年，位于嘉兴市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本4014.4225万人民币。通过天眼查大数据分析，君原电子科技（海宁）有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目114次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息115条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自：金融界

作者：情报员