金融界2025年4月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“机械手及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119871509A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本发明提供一种机械手及半导体工艺设备，机械手用于半导体工艺设备。机械手包括：本体、手指组件、位置检测组件、调整组件和控制组件。手指组件和调整组件均设置于本体，位置检测组件的两个检测件分别设置于手指组件的两个手指，控制组件连接于位置检测组件和调整组件。其中，控制组件用于根据检测件获取的晶圆边缘的两处位置得到晶圆圆心的取片位置，并将晶圆圆心的取片位置与晶圆圆心的标准位置进行比较，并根据上述比较的结果控制调整组件，直至晶圆圆心的取片位置与标准位置重合。本实施例的机械手在取放晶圆时，可以对晶圆在机械手上的位置进行自动纠偏，节省了机械手取放晶圆的时间。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1025次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

作者：情报员