金融界2025年5月1日消息，国家知识产权局信息显示，研微（江苏）半导体科技有限公司申请一项名为“一种末端执行器、机械手及传输腔室”的专利，公开号CN119890129A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明提供了一种末端执行器、机械手及传输腔室，涉及半导体设备技术领域，末端执行器包括承载段，承载段包括第一延伸杆、第二延伸杆、第一加强杆、第二加强杆、第三加强杆、过渡部；其中，第一加强杆位于第一延伸杆和第二延伸杆之间，第一延伸杆的近端、第二延伸杆的近端均连接至过渡部，第一延伸杆的远端与第一加强杆的远端之间连接有第二加强杆，第二延伸杆的远端与第一加强杆的远端之间连接有第三加强杆。本发明降低了承载段的整体重量，减小末端执行器的远端下垂量；使得承载段的整体结构刚度提高，进而使得一阶模态增加，提高机械手的运动稳定性，避免机械手运动时发生共振，保证晶圆不会滑落或划伤。

天眼查资料显示，研微（江苏）半导体科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2799.8133万人民币。通过天眼查大数据分析，研微（江苏）半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息38条，此外企业还拥有行政许可10个。

本文源自：金融界

作者：情报员