金融界2025年5月2日消息，国家知识产权局信息显示，扬州提迈电子科技有限公司申请一项名为“一种圆形灯管晶圆加热器、退火炉系统及温度控制方法”的专利，公开号 CN119893763A，申请日期为 2025 年 1 月。

专利摘要显示，本申请涉及一种圆形灯管晶圆加热器、退火炉系统及温度控制方法，其涉及晶圆加工技术领域，本申请的圆形灯管晶圆加热器包括加热器座、加热灯管、高温计和灯管功率分配器，加热灯管设置有多个，多个加热灯管在加热器座上排列成多个相互同心的圆形，高温计对应于加热灯管设置区域的中部设置，灯管功率分配器包括温度控制单元和多个功率控制元件，多个加热灯管分别与多个功率控制元件电连接，温度控制单元与高温计和多个功率控制元件电连接，以能够根据高温计的检测结果分别控制每个加热灯管的加热功率，能够晶圆加热温度的均匀性。本申请还公开了一种使用本申请圆形灯管晶圆加热器的晶圆退火炉系统和一种晶圆退火炉系统的温度控制方法。

天眼查资料显示，扬州提迈电子科技有限公司，成立于2022年，位于扬州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本350万人民币。通过天眼查大数据分析，扬州提迈电子科技有限公司共对外投资了1家企业，专利信息3条，此外企业还拥有行政许可2个。

本文源自：金融界

作者：情报员