金融界2025年5月2日消息,国家知识产权局信息显示,浙江大学和国网浙江省电力有限公司电力科学研究院申请一项名为“一种平面栅MOSFET结构及其制备方法”的专利,公开号CN119907271A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,一种平面栅MOSFET结构及其制备方法,属于平面栅MOSFET技术领域,一种平面栅MOSFET结构,包括元胞结构,所述元胞结构包括:N型衬底;N型外延层;P阱区,两个P阱区的顶部皆形成有沟道区;两个P阱区之间形成有JFET区;栅氧层包括第一栅氧区、第二栅氧区和第三栅氧区,第一栅氧区位于沟道区与栅极结构之间,第二栅氧区位于N型区与栅极结构之间,第三栅氧区位于JFET区与栅极结构之间,第二栅氧区的最大厚度大于第一栅氧区的厚度,第三栅氧区的最大厚度大于第一栅氧区的厚度。本申请通过优化MOSFET栅氧的厚度分布,保证沟道处栅氧具有的低界面态密度、高迁移率的导通优势,降低了栅氧泄漏电流,提高了栅氧可靠性,同时也减小了栅氧电容,提高了MOSFET的开关速度。
本文源自:金融界
作者:情报员
热门跟贴