金融界2025年5月3日消息,国家知识产权局信息显示,沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得一项名为“晶圆搬运手指”的专利,授权公告号CN222801769U,申请日期为2024年4月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种晶圆搬运手指,包括:手指本体和设于所述手指本体底面的伯努利吸盘,所述手指本体和所述伯努利吸盘之间形成有吸盘气室,所述伯努利吸盘上间隔地设有与所述吸盘气室连通的若干个喷气孔,若干个所述喷气孔的连线呈圆形状,所述吸盘气室与供气装置连接,所述供气装置用于向所述吸盘气室内通气,以使气体从所述喷气孔喷出。利用所述供气装置向所述吸盘气室内通气,从所述喷气孔喷出的高速流动的气体,产生伯努利效应,以使晶圆可以悬浮地吸附于所述伯努利吸盘下方,非接触式吸附避免破坏晶圆微结构,也不会造成晶圆的变形和碎片,避免污染晶圆。

天眼查资料显示,沈阳芯源微电子设备股份有限公司,成立于2002年,位于沈阳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20096.6966万人民币。通过天眼查大数据分析,沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目297次,财产线索方面有商标信息32条,专利信息598条,此外企业还拥有行政许可63个。

本文源自:金融界

作者:情报员