金融界 2025 年 5 月 5 日消息,国家知识产权局信息显示,无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“兼容型开放式晶圆盒装载装置”的专利,公开号 CN119905440A,申请日期为 2025 年 3 月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体设备技术领域,公开了一种兼容型开放式晶圆盒装载装置,包括支撑底板、晶圆盒定位组件、晶圆盒在位检测组件和晶圆凸出检测组件。上述兼容型开放式晶圆盒装载装置可以兼容不同规格的晶圆盒,在更换晶圆盒时,无需更换晶圆盒定位组件或调整其位置,无需调整晶圆盒在位检测组件的位置,无需调整晶圆凸出检测组件的位置,且无论是缺口型晶圆还是平边型晶圆,晶圆凸出检测组件均不受影响,只需将晶圆盒放置到支撑底板上对应位置,即可自动识别晶圆盒的规格,整个过程基本不需要人工参与和确认,从而减少了操作的难度和出错的概率,更利于后续机械手取放晶圆。

天眼查资料显示,无锡卓海科技股份有限公司,成立于2009年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7168.6725万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目86次,财产线索方面有商标信息34条,专利信息138条,此外企业还拥有行政许可42个。

本文源自:金融界

作者:情报员