金融界2025年5月6日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN119922943A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,方法包括:提供衬底,所述衬底包括隔断区域;形成位于所述衬底中的沟槽,并使所述隔断区域位于所述沟槽中;形成凸立在所述沟槽中的阻挡层,所述阻挡层覆盖所述隔断区域,并在所述沟槽的延伸方向上分割所述沟槽的空间;在所述沟槽的剩余空间中形成沟道材料层;图形化所述沟道材料层,形成鳍部,沿所述鳍部的延伸方向,所述鳍部朝向隔断区域的端部被所述阻挡层覆盖,因此,鳍部不会形成在隔断区域中,有利于抑制由所述沟道材料形成的鳍部的晶格应变松弛问题,从而提高了由所述沟道材料形成的鳍部的应力,进而提高了半导体结构的性能。
天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目122次,财产线索方面有商标信息149条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可443个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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