金融界2025年5月6日消息，国家知识产权局信息显示，广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种衬底片清洗装置”的专利，授权公告号CN222826368U，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种衬底片清洗装置，包括用于容置清洗液体的水槽、治具组件、支架、旋转驱动件以及驱动组件，所述治具组件位于所述水槽内，且所述旋转驱动件与所述治具组件连接，以驱动所述治具组件做旋转运动，所述旋转驱动件通过所述驱动组件滑动安装于所述支架，以驱动所述治具组件沿平行于所述清洗液体的液面方向做往复运动。本实用新型的驱动组件让治具组件沿着平行于清洗液面的方向做往复运动，以通过往复运动产生的“水冲力”直接正面冲击衬底片表面，能更好地清除污染物，提高了清洗的效率和洁净度。

天眼查资料显示，广东先导微电子科技有限公司，成立于2020年，位于清远市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本54384万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导微电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息495条，此外企业还拥有行政许可182个。

本文源自：金融界

作者：情报员