2025年5月7日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收跌0.84%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流出3759.02万元，居可比基金第一。

拉长时间看，该基金近3天主力资金加速流出，合计流出4792.30万元，居可比基金第一。

与此同时，该基金最新成交量为1.63亿份，最新成交额达1.73亿元，当日主力资金净流出成交额占比达21.67%。

半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。