金融界2025年5月7日消息,国家知识产权局信息显示,胜高股份有限公司申请一项名为“晶圆形状的模型化方法及晶圆的制造方法”的专利,公开号CN119948608A,申请日期为2023年7月。

专利摘要显示,本发明提供一种晶圆形状的模型化方法,其为通过函数将晶圆形状模型化的方法,其中,函数为计算晶圆的厚度方向的位移z的函数,且为包含以下函数的多个函数之和:第一函数g(r),将距晶圆的中心的距离r作为变量的一次以上的多项式;第二函数Ar×h(Nθ),将以晶圆的周向的规定位置为基准的第一角度θ作为变量且将整数N作为常数的正弦函数或余弦函数h(Nθ)乘以系数A和距离r;及第三函数Br×i(M(θ‑φ)),将第一角度θ作为变量且将以规定位置为基准的第二角度φ和整数M作为常数的正弦函数或余弦函数i(M(θ‑φ))乘以系数B和距离r。

本文源自:金融界

作者:情报员