金融界2025年5月7日消息,国家知识产权局信息显示,青岛思锐智能科技股份有限公司取得一项名为“一种可旋转和微调的真空托盘升降装置”的专利,授权公告号CN222821635U,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本实用新型公开一种可旋转和微调的真空托盘升降装置,涉及镀膜真空设备技术领域;该装置包括:中心杆,中心杆的顶部延伸至真空腔内;升降支撑件,安装在真空腔的外部;升降机构,设置在升降支撑件上;微调机构,其包括微调支撑件和安装在微调支撑件上的微调组件,微调组件与中心杆连接,用于调整中心杆的位置;升降机构与微调支撑件连接,用于带动微调支撑件上下移动进而带动中心杆上下移动;旋转机构,与中心杆连接,用于驱动所述中心杆旋转。本实用新型可以为晶圆提供在真空腔内多维度,多方向的运动选择,适用于多种工艺环境要求;可以实现上下升降运动,也可以提供晶圆旋转功能;提高了不同工艺的制作效率和膜层均匀度。

天眼查资料显示,青岛思锐智能科技股份有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本112128.6051万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目67次,财产线索方面有商标信息24条,专利信息120条,此外企业还拥有行政许可22个。

本文源自:金融界

作者:情报员