金融界 2025 年 5 月 8 日消息，国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“一种光刻机的温度控制电路”的专利，公开号 CN119937681A，申请日期为 2025 年 4 月。

专利摘要显示，本申请提供了一种光刻机的温度控制电路，涉及电子技术领域。该温度控制电路包括：硬件 PID 电路、冷却片模块和温度检测电路；温度检测电路的检测部设置于光刻机上的晶圆台上，温度检测电路的输出端连接硬件 PID 电路的输入端，硬件 PID 电路的参考端用于接收预设基准电压，使得硬件 PID 电路用于根据温度检测电路输出的当前温度对应的检测电压以及预设基准电压，生成控制信号；硬件 PID 电路的输出端连接冷却片模块的控制端，冷却片模块用于对晶圆台进行温度控制。从而，采用硬件 PID 电路实现实时闭环控制，实现了精准温度控制，减少延迟时间。

天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目60次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息99条，此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自：金融界

作者：情报员