金融界2025年5月8日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“一种晶圆翘曲度测量装置”的专利,授权公告号CN222826357U,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种晶圆翘曲度测量装置,该测量装置包括晶圆承载组件及至少一个力学感应元件,其中,晶圆承载组件用于承载待测晶圆,待测晶圆包括在第一方向上相对设置的第一表面及第二表面;力学感应元件沿第一方向可移动地设置于待测晶圆的一侧以在相对待测晶圆进行移动的过程中与所述第一表面或第二表面产生接触,力学感应元件靠近待测晶圆的一面平行于第二方向,所述第二方向垂直于所述第一方向。该测量装置通过力学感应元件在移动过程中与待测晶圆产生接触以快速获取待测晶圆最低点的精确位置,基于待测晶圆最高点与最低点之间的高度差值得到待测晶圆的翘曲度,测量装置整体结构简单,成本低廉且使用便捷,实现晶圆翘曲度的快速测量。

天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目167次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息645条,此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自:金融界

作者:情报员