金融界2025年5月10日消息,国家知识产权局信息显示,卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请一项名为“带电粒子束装置的扰动补偿”的专利,公开号CN119948594A,申请日期为2023年9月。

专利摘要显示,带电粒子束装置(例如用于修复任务)会受到扰动。例如,在执行用于修复光刻掩模上缺陷的操纵模式时,使用一或多个传感器的传感器输出来补偿所述扰动。

本文源自:金融界

作者:情报员