金融界2025年5月12日消息,国家知识产权局信息显示,新毅东(北京)科技有限公司申请一项名为“一种预对准仪及对准方法”的专利,公开号CN119965143A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体加工技术领域,公开一种预对准仪及对准方法。其中载台上设置有沿第一方向延伸的长条孔;支撑组件包括第一支撑柱和支撑部件,支撑部件包括两个第二支撑柱,两个第二支撑柱沿第二方向分布于长条孔的两侧,第一支撑柱和两个第二支撑柱用于支撑晶圆;调节组件包括托盘和驱动部件,驱动部件位于载台的下方,驱动部件设置有输出轴,输出轴穿设于长条孔并连接于托盘,托盘用于承载并吸附晶圆,驱动部件用于驱动托盘移动;检测装置设置于对准装置的上方,检测装置包括壳体和相机,相机安装于壳体内,壳体的底壁设置有避让孔,相机能够透过避让孔照射晶圆靠近第一支撑柱的边缘。
天眼查资料显示,新毅东(北京)科技有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币。通过天眼查大数据分析,新毅东(北京)科技有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目60次,财产线索方面有商标信息28条,专利信息102条,此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自:金融界
作者:情报员
热门跟贴