金融界 2025 年 5 月 12 日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司 SMT 有限责任公司申请一项名为“分面镜、照明光学单元、分面镜的布置、投射曝光设备以及用于生产纳米结构部件的方法”的专利，公开号 CN119968594A，申请日期为 2023 年 9 月。

专利摘要显示，在微光刻投射曝光设备(1)中，照明光学单元(4)的第二分面镜(14)布置在晶片平面(9)的区域中，特别是布置在晶片平面(9)下方。

本文源自：金融界

作者：情报员