金融界2025年5月12日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于预测抗蚀剂变形的方法”的专利，公开号CN119960261A，申请日期为2019年12月。

专利摘要显示，一种用于确定抗蚀剂在图案化过程中的变形的方法。所述方法涉及：获得具有图案的抗蚀剂的抗蚀剂变形模型，所述抗蚀剂变形模型被配置成模拟由于作用于所述图案的至少一个特征的轮廓上的毛细力引起的所述抗蚀剂的流体流；以及经由所述抗蚀剂变形模型，基于对所述抗蚀剂变形模型的输入图案，确定待显影的抗蚀剂图案的变形。

本文源自：金融界

作者：情报员