金融界 2025 年 5 月 13 日消息，国家知识产权局信息显示，福建金石能源有限公司申请一项名为“一种大腔室PECVD的抽、破空结构及破空方法”的专利，公开号 CN119956323A，申请日期为 2025 年 2 月。

专利摘要显示，本发明涉及PECVD设备领域，公开了一种大腔室PECVD的抽、破空结构及破空方法，抽、破空结构包括腔室主体，腔室主体底部中间设置有若干个主抽组件，腔室主体底部的前后两侧均设置有若干间隔分布的慢抽破空组件和腔底破空组件。慢抽破空组件包括第一通气管，第一通气管连接慢抽组件和氮气破空组件。腔底破空组件包括第二通气管，第二通气管连接有氮气破空组件和空气破空组件。第一通气管和第二通气管上方还设置有用于降低出气口流速的多层匀流组件。破空方法为采用上述结构采用的破空方法。本发明不仅能够改善硅片良率而且能够缩短抽真空、破真空时的节拍。

天眼查资料显示，福建金石能源有限公司，成立于2016年，位于泉州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本21725.929707万人民币。通过天眼查大数据分析，福建金石能源有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息452条，此外企业还拥有行政许可17个。

本文源自：金融界

作者：情报员