金融界2025年5月13日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“磁控管驱动机构和磁控溅射设备”的专利，公开号CN119956303A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本申请公开了一种磁控管驱动机构和磁控溅射设备，涉及半导体技术领域，可以在不开腔和不拆卸磁控管的前提下，调整靶材与磁控管的间距，大幅降低了成本。磁控管驱动机构包括：驱动组件，第一传动组件和第二传动组件；驱动组件与第一传动组件连接，用于带动第一传动组件做旋转运动；第一传动组件和第二传动组件连接，用于带动第二传动组件做旋转中心为定点的旋转运动；第二传动组件用于：在驱动组件处于开机状态的情况下，在第一传动组件的带动下做旋转中心为定点的旋转运动，以带动磁控管做旋转中心为定点的旋转运动；在驱动组件处于关机状态的情况下，在外力作用下沿第二传动组件的轴向移动，以带动磁控管沿第二传动组件的轴向移动。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1038次，财产线索方面有商标信息62条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

作者：情报员