金融界 2025 年 5 月 13 日消息，国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“一种气固共用的双送气离子源及离子生成方法、离子注入机”的专利，公开号 CN119965067A，申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示，本发明公开了一种气固共用的双送气离子源及离子生成方法、离子注入机，离子源包括坩埚、加热部件和弧室，所述坩埚内部配置有含铝的固体材料，所述加热部件用于加热坩埚，所述坩埚侧部设有第二进气管和送气管，所述第二进气管将含氯气体输送至坩埚内，所述送气管延伸至弧室，以实现坩埚内部形成的含铝蒸汽输送至弧室内，所述弧室侧部设有第一进气管，所述第一进气管用于输送含氮气体、含硼气体和含磷气体中的任意一种或多种气体进入弧室内，以兼容铝元素与氮元素或硼元素或磷元素共同注入。本发明具有结构紧凑、稳定性高且有利于提升 SiC 器件生产效率等特点，能够很好地兼容 B、P、N、Al 共同注入。

天眼查资料显示，北京烁科中科信电子装备有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本22224.4771万人民币。通过天眼查大数据分析，北京烁科中科信电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目379次，专利信息161条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自：金融界

作者：情报员