金融界2025年5月16日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于等离子体处理系统的宽带供应电路系统”的专利，公开号CN119998917A，申请日期为2023年6月。

专利摘要显示，本文所提供的实施方式一般包括用于在一个电源的多个频带上进行动态阻抗匹配的装置、等离子体处理系统和方法。一个示例方法包括：放大宽带信号；将所述被放大的宽带信号在与阻抗匹配网络耦合的多个通道路径上进行分离；以及至少部分地基于与所述宽带信号相关联的反馈，调整与所述阻抗匹配网络相关联的至少一个第一阻抗，以实现在一个阈值内的第二阻抗。所述阻抗匹配网络包括与等离子体激发电路系统耦合的多个阻抗匹配电路，并且所述阻抗匹配电路中的每一者与所述多个通道路径中一个不同的路径和一个输出节点耦合。

本文源自：金融界

作者：情报员