金融界2025年5月17日消息,国家知识产权局信息显示,北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“晶圆校准方法、主控制器、电子设备及存储介质”的专利,公开号CN119993889A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种晶圆校准方法、主控制器、电子设备及存储介质,所述方法包括:获取晶圆旋转一周时晶圆边缘的多个第一采样数据;基于多个第一采样数据,确定晶圆缺口的第二采样数据;根据第二采样数据,确定晶圆圆心位置和晶圆缺口位置;根据晶圆缺口位置和晶圆圆心位置,控制驱动电机对晶圆进行位置校准。本发明提供的晶圆校准方法,在已知晶圆缺口位置和晶圆圆心位置的基础上,通过驱动电机对晶圆进行精准位置校准,能有效避免机械手的机械误差对定位精度的影响,并且无需人工干预或手动调节,实现更高程度的自动化,能够提供更加精准且稳定的晶圆校准效果,同时降低了晶圆校准所需的节拍数,无需多次对晶圆进行位置调整,从而有效提高生产效率。

天眼查资料显示,北京京仪自动化装备技术股份有限公司,成立于2016年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本16800万人民币。通过天眼查大数据分析,北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目85次,财产线索方面有商标信息21条,专利信息463条,此外企业还拥有行政许可13个。

本文源自:金融界

作者:情报员