金融界2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司取得一项名为“一种高精度紫外短波段的终点检测装置”的专利，授权公告号CN222883491U，申请日期为2024年07月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种高精度紫外短波段的终点检测装置，用于对机台腔室内刻蚀和薄膜过程所产生的光信号进行检测，包括；信号收集模块和处理模块，所述信号收集模块和处理模块通过信号线连接；所述信号收集模块包括探头和光纤，设于所述机台腔室一侧用于获取机台腔室内刻蚀过程中发出的光信号，并将所述光信号传输至处理模块；所述处理模块包括光学模组和CMOS探测器，用于处理光信号并通过上位机输出光强曲线。

天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本211.1508万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可3个。

本文源自：金融界

作者：情报员