金融界2025年5月21日消息,国家知识产权局信息显示,武汉市太紫微光电科技有限公司申请一项名为“螺吡喃化合物在制备高曝光容差性能的光致抗蚀剂中的应用”的专利,公开号CN120010186A,申请日期为2025年02月。
专利摘要显示,本申请属于微电子器件加工技术领域,更具体地,涉及螺吡喃化合物在制备高曝光容差性能的光致抗蚀剂中的应用。本申请通过将特定结构的螺吡喃化合物引入到光致抗蚀剂中,能够有效提升光致抗蚀剂的曝光宽容度,使得曝光后形成的图形的尺寸变化保持在较小范围内,具有优异的曝光容差性能。
天眼查资料显示,武汉市太紫微光电科技有限公司,成立于2024年,位于武汉市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉市太紫微光电科技有限公司专利信息3条。
本文源自:金融界
作者:情报员
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