2025年5月22日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收跌0.79%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流出738.43万元，居可比基金首位。

拉长时间看，该基金近3天主力资金加速流出，合计流出1218.44万元，居可比基金首位。

与此同时，该基金最新成交量为7954.75万份，最新成交额达8057.44万元，当日主力资金净流出成交额占比达9.16%。

半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。