（Airborne Molecular Contamination）指的是悬浮分子污染物，主要出现在洁净室和受控环境的大气中‌。AMC包括四大类别：MA（酸蒸气）、MB（碱蒸气）、MC（凝结物质）和MD（掺杂物质）‌。
AMC的来源

AMC的来源可以分为外部源和内部源：
‌外部源‌：主要包括供应给洁净室内部的空气净化和过滤系统、空调、管道等。
‌内部源‌：包括FOUP污染、工艺残余、清洁溶剂使用、工作人员相关、洁净室内材料逸出等‌。
AMC的危害
AMC对半导体生产的影响主要体现在以下几个方面：
‌影响产品良率‌：即使是极低浓度的AMC，也可能导致芯片出现短路、开路、性能下降等问题，严重影响产品的质量和可靠性，增加生产成本。
‌腐蚀设备‌：会腐蚀半导体制造设备的金属部件和表面，缩短设备的使用寿命，增加设备维护成本和停机时间，影响生产效率‌。
AMC的检测和控制方法

为了控制洁净室中的AMC，可以采取以下措施：
‌源头控制‌：选择低释放率的建筑材料和设备组件，如低挥发性有机化合物（VOC）的密封胶、涂料和塑料，减少MC类AMC的产生。改进生产工艺，减少化学试剂的使用。
‌通风过滤‌：安装高效的空气过滤设备，包括初效、中效和高效过滤器，并配置化学过滤器，如活性炭过滤器吸附有机蒸气，酸性气体过滤器去除MA类污染物。合理设计洁净室的气流组织，确保空气均匀、稳定地流动。
‌监测与维护‌：实时监测洁净室内的AMC浓度，及时采取措施防止污染积累‌。