金融界2025年5月28日消息,国家知识产权局信息显示,青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“半导体器件的制造方法”的专利,公开号CN120050987A,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体器件的制造方法,将现有技术中在形成PMOS区的锗硅源漏之后打开NMOS区的第二硬掩膜层的步骤,调整到用于形成PMOS区的锗硅源漏的光刻工艺之前,并采用化学机械抛光CMP的方法一道去除NMOS区和PMOS区的栅极顶部上的第二硬掩膜层,可以省去现有技术中在打开NMOS区的第二硬掩膜层时所需的光罩和湿法刻蚀工艺,简化工艺流程,节约光罩成本,而且避免该湿法刻蚀工艺造成NMOS区的衬底表面凹陷的问题,进而提高器件性能。

天眼查资料显示,青岛澳柯玛云联信息技术有限公司,成立于2020年,位于青岛市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业,专利信息62条,此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自:金融界

作者:情报员