金融界2025年5月30日消息,国家知识产权局信息显示,华润微电子控股有限公司申请一项名为“一种MEMS压力传感器及其制备方法、电子装置”的专利,公开号CN120057846A,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,提供一种MEMS压力传感器及其制备方法、电子装置,该方法包括:提供第一衬底与第二衬底,在第一衬底上依次形成有第一感压膜层、第一牺牲层与第一子电极层,在第二衬底上依次形成有第二感压膜层、第二牺牲层与第二支撑层;分别刻蚀第一子电极层与第二支撑层,以形成多个第一释放孔与多个第二释放孔;去除部分所述第一牺牲层以形成第一空腔,去除部分所述第二牺牲层以形成第二空腔;将第一子层与第二层进行键合,第一释放孔与第二释放孔交错交错设置;蚀蚀第一衬底以形成腔,并去除第二衬底,以露出第二感压膜层。

天眼查资料显示,华润微电子控股有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本141126.4485万美元。通过天眼查大数据分析,华润微电子控股有限公司共对外投资了27家企业,参与招投标项目44次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息133条,此外企业还拥有行政许可3个。

本文源自:金融界

作者:情报员